薄膜生長是過程的算法二鍵計數(shù)KMC
該方法用原子遷移時的激活能來確定某一事件的發(fā)生概率。激活能由遷移原子初始位置的最近鄰的數(shù)目確定,或者由遷移原子初始位置最近鄰的數(shù)目和遷移目標(biāo)位最近鄰的數(shù)目之差來確定。這種方法的優(yōu)點是在所建立的模型比較合理時,能夠準(zhǔn)確地研究原子的環(huán)境變化。但是,激活能的計算并不是簡單地由遷移原子的初始環(huán)境和目標(biāo)位置環(huán)境所決定,遷移過程中可能會出現(xiàn)能量變化的鞍點.由于這種方法實際上沒有考慮到遷移過程的中間狀態(tài),對激活能的計算看似合理但并不準(zhǔn)確。